Направление: тонкопленочные технологии

Oxyfilm занимается разработкой элементов терагерцовой и инфракрасной оптики на омнове диоксида ванадия. Оригинальная методика напыления позволяет получать кристалличные пленки при температурах от 350 градусов. Напылительная система устроена таким образом, что позволяет быстро перестраиваться между осаждаемыми материалами, а сменные подложкодержатели позволяют удерживать пластины размером до 4-х дюймов